晶圓薄化加工服務

提供超薄化研磨、表面處理、金屬薄膜沈積、製程技術,並搭配晶圓測試,提供客戶全方位加工服務著稱。晶圓薄化技術充分因應市場對半導體元件輕薄短小、高性能、節能高度需求,藉由使用晶圓薄化技術可提供積體電路高密度互連,降低功率損失,並滿足元件封裝薄型化、小型化需求,實現半導體元件性能全面提升目標。

主要應用

降低導通電阻、超薄化封裝或合封、Flip Chip 厚金屬封裝

加工服務

6吋、8吋及12吋之P型或N型矽晶圓薄化(一般及Taiko)
6吋及8吋 SiC, GaN晶圓薄化
晶正及晶背之金屬鍍膜、蝕刻
晶圓測試(Chip Probing Test)

我們的優勢

通過高剛性減薄機獲得高質量的「平坦度」「表面粗糙度」和「加工變質層」
⇒降低工序流程和成本

降低背面減薄後薄化時的翹曲。
⇒減薄+拋光的一條龍式加工成為可能。

通過導入SiC專用清洗裝置實現高清凈度
(減少金屬汚染留和顆粒)
在矽晶圓上有量產實績的刀刃防止加工,將來也可以在SiC薄化晶圓上展開。